Вауумный пост и вакуумные комплектующие

Вакуумный пост, с остаточным вакуумом не хуже 5*10^-5мбар, предназначен для широкого спектра задач, связанных с обработкой поверхности, в том числе плазменного травления и нанесения покрытий, с преподготовкой и обработкой образцов в вакууме – их обезгаживание, модификация, в том числе с использованием инертных газов (аргон, неон и др.)

В стандартную комплектацию входят:

Вакуумная камера ISO 200, с фланцами KF 16, 25, 40
Турбомолекулярный насос Pfeiffer TPD 011 со скоростью откачки по азоту – 10 л/с
Мембранный безмасляный насос MD 1 c остаточным давлением не хуже 2 мбар
Измеритель вакуума Pfeiffer IMR 265 диапазон измерений 2 10-6 1000 мбар
Блок управления CombiGauge

Для вакуумных систем мы используем только высококачественную продукцию известных
западных фирм Pfeiffer, Varian, VAT, Extorr и др:

насосы предварительной откачки (мембранные, скролл);
турбомолекулярные насосы;
измерители вакуума;
вакуумные клапаны и затворы;
течеискатели;
газоанализаторы;

переходники и фланцы различных типов: ISO, KF, CF, SW;
сильфоны;
изоляторы;
электрические вводы;
вводы движения-перемещения
Ваш вакуумный пост может быть укомплектован различными компонентами, необходимыми именно для Вашей конфигурации и конкретно поставленных задач!

Вакуумный пост (ПИРАМИД ВАКУУМ)

Вакуумный пост разработки ООО «Пирамид Вакуум» - экономичное решение для большинства процессов в вакууме. Оптимально подобранное соотношение цена-качество использующихся в основе поста приборов делает его стоимость сравнимой с современными диффузионными откачными агрегатами. При этом использование современных безмасляных средств откачки позволяет проводить процессы в чистых условиях, а время технологических циклов сократить до нескольких минут.

Блок управления CombiGauge (ПИРАМИД ВАКУУМ)

Блок управления производства ООО «Пирамид вакуум» позволяет полностью автоматизировать управление вакуумным постом. Данный прибор объединяет в себе блок управления 2-ми насосами (форвакуумный MD 1 Vario и турбомолекулярный TPD 011 Pfeiffer или TMU 071 Pfeiffer, либо два турбомолекулярных), измерение вакуума (до 4-входов измерителей вакуума Pfeiffer), напуска рабочего газа и продувки для открытия рабочей камеры. Прибор снабжен контроллером с графическим интерфейсом и, при необходимости, имеет соединение с управляющим компьютером по RS232.