Масс-анализаторы серии Extorr XT
Встроенный измеритель давления от атмосферы до UHV
|
| Масс-анализаторы серии Extorr XT – это устройства, содержащие квадрупольный анализатор остаточного газа, широкодиапозонный комбинированный измеритель давления: типа Pirani (от атмосферного давления) и ионизационный с горячим катодом (до 10-9 Тор).
|
Основные отличия от аналогов других фирм:
- В одном корпусе квадрупольный масс-анализатор газа и широкодиапазонный датчик давления
- Высокая чувствительность
- Защита катода
- Удобная программа
- Привлекательная цена
|
|
Общее описание:
- Квадрупольный масс-анализатор позволяет анализировать состав газа в вакуумных установках, а также регистрировать сигналы, пропорциональные парциальным давлениям выделенных компонент газа в камере. Прибор может быть использован также в качестве высокочувствительного гелиевого течеискателя.
- Принцип действия имерителя вакуума типа Pirani основан на изменении теплопроводности окружающего газа в зависимости от давления.
- В основе ионизационного измерителя вакуума лежит ионизация остаточного газа электронным ударом с последующим измерением тока ионов в зависимости от давления.
Пирани включается с атмосферного давления, ионизационный измеритель с 10-2 Торр, а масс-спектрометр - с давления 10-4 Торр (встроенная защита катода).
Ионизационный датчик измеряет общее давление до 2х10-9 Торр, что связано с фоновым током. Масс-анализатор измеряет парциальные давления до 10-11 торр для моделей с цилиндром Фарадея (до 10-14 Торр для моделей с электронным умножителем).
Cуществует три типа анализаторов серии XT:
XT100 - в диапазоне 1 - 100 а.е.м.
XT200 - в диапазоне 1 - 200 а.е.м.
XT300 - в диапазоне 1 - 300 а.е.м.
Для моделей со встроенным электронным умножителем (повышающим чувствительность регистрации парциальных давлений на 3 порядка), в название прибора добавляется буква М (XT100M, XT200M, XT300M).
Управление масспектрометра осуществляется с компьютера, подключенного к блоку управления. Программа Vacuum Plus позволяет управлять всеми параметрами масспектрометра, и отображает и записывает парциальные давления для выбранного массового диапазона, либо времени. |
| |
Основные технические характеристики
| Диапазон масс |
XT100(M) |
1 до 100 а.е.м. |
| XT200(M) |
1 до 200 а.е.м. |
| XT300(M) |
1 до 300 а.е.м. |
| Тип масс-анализатора |
квадроуполь |
| Тип детектора в квадруполе |
Цилиндр Фарадея (ЦФ), опционально - электронный умножитель (ЭУ) |
| Разрешение |
Лучше чем 0.5 а.е.м. |
Минимальное детектируемое
парциальное давление |
Для азота при регистрации ЦФ - 10-11 торр, ЭУ - 10-14 торр |
| Рабочее давление |
От атмосферного до сверхвысокого вакуума.
Рекомендуется:
для измерения давления - ниже 10-2 торр
для анализа состава газа - ниже 10-3 торр
при использовании ЭУ – ниже 10-6 торр |
| Конструкция ионизатора |
Открытый ионный источник, ионизация электронным ударом. |
| Катод ионизатора |
Материал катода иридий, покрытый окисью иттрия . Предусмотрены защита и
обезгаживание. Модуль катода заменяем. |
| Материалы прибора |
304SS-нержавеющая сталь, ковар, вольфрам, керамика, иридий, медь,
никель |
| Присоединительный фланец |
DN 40 CF |
| Время прогрева прибора |
30 мин. Стабильность массы после прогрева ±0.1 а.е.м. |
| Интерфейс компьютера |
RS-232C, 115.200 Кб/с |
| Програмное обеспечение |
Разработано для операционной системы Windows 2000 или XP. |
| Потребляемая мощность |
24 В 2.5 A. Поставляется стандартный адаптер 120/240 VAC. |
|
Комплект поставки
В комплект поставки входят:
- анализатор,
- блок питания и управления,
- программное обеспечение
- кабели,
- ЗИП (медное уплотнение и
установочные болты). |
| |
|
Назад
|
|
